Lampada a infrarossi a onde corte per circuiti integrati (IC)

Thu, 04 Jun 2026 01:04:50 +0800

Sul pavimento della fabbrica, il budget termico non è facoltativo.

Se sbagli di un grado durante il soft bake, il profilo del photoresist si sposta. Se esegui il hard bake troppo caldo, il drift del sovrapposizione si manifesta rapidamente—le dimensioni critiche escono dalle specifiche prima che tu te ne accorga. Ecco perché abbiamo progettato le nostre lampade a infrarossi a onda corta (SWIR) per IC attorno a una realtà: hai bisogno di calore che sia veloce, controllato e ripetibile, esattamente dove il wafer, il photoresist e il stack di litografia ne hanno bisogno.

Onda on Your Quartz Heater Source

Lampada a infrarossi a onde corte per circuiti integrati (IC)

Sul pavimento della fabbrica, il budget termico non è facoltativo.