Lampada infrarossa impermeabile per risciacquo

Sun, 07 Jun 2026 01:32:11 +0800

Sulla linea di produzione wafer, la stabilità della temperatura durante la fase di risciacquo non è un semplice optional. È una vera variabile di controllo del processo.
Se la temperatura dell’acqua di risciacquo varia, si iniziano a notare residui di fotoresist e accumuli lungo i bordi. Il conteggio delle particelle aumenta e i lotti buoni vengono scartati. Abbiamo progettato la lampada a infrarossi impermeabile per il risciacquo per mantenere l’uniformità termica nella zona di risciacquo entro ±0,1°C, così la fase di risciacquo si svolge come una ricetta definita, non a tentativi.

Sciacquare on Your Quartz Heater Source

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