熱の無駄遣いをやめよう：なぜ金製の反射板が重要なのか 半導体製造において、無駄になる1ワットの電力は、まさに無駄に消えてしまうお金と同じです。 多くの人々は、従来のアルミニウム製の反射板を使っています。確かに十分機能しますが、赤外線エネルギーが隙間から漏れ出してしまう傾向があります。その結果、ウェ...

なぜ、古いタイプのバスルーム用ヒーターを捨てて、IRミラーヒーターに切り替えるのか？ あの昔ながらのバスルーム用ヒーター、つまり、大きな電球を使っていて、頭は汗ばむのに足元は寒いというようなものですよね。そういうヒーターはもう姿を消しつつあります。 多くの人々が、高い防水性能を持つIRミラーヒータ...

ウェーハ製造ラインでの無駄な電力消費を止めましょう。 もし製造ラインをアップグレードするのであれば、電力を無駄にすることは、実質的にお金を捨てているようなものだということをご存知でしょう。ウェーハを加熱する際には、「大量の熱」だけでは不十分です。そのエネルギーが実際にウェーハの表面に届く必要があり...

ファブ内の二酸化炭素排出量を削減するために：なぜオゾンフリーのIRランプが最適なのか 半導体を製造するには、熱が不可欠です。正確で迅速な加熱が求められます。しかし、長年にわたり、私たちが用いてきた方法は…まあ、あまり効率的とは言えませんでした。 ほとんどの加熱装置は、強力な対流やオゾンを発生させる...

はじめに 私たちは、水素センサーの製造において、直接使用できる赤外線加熱装置を開発しています。そのアイデアはシンプルです。つまり、必要な場所に迅速かつ正確に熱を供給し、工場に余分な炭素負荷を与えないのです。このシステムは、エネルギー密度と制御が特に重要となる水素センサー製造の工程に焦点を当てていま...

はじめに 高負荷のウェーハ硬化工程で実際に何が起こるかを正直に見てみましょう。ランプの故障は一つの問題ですが、それによって生じる混乱こそが、実際に歩留まりを低下させる原因となります。 私たちは、清潔さと稼働時間が最も重要な製造現場向けに、反射器を内蔵した赤外線ランプを開発しました。その目的は、ラン...

是非を言えば 実のところ、バスルームは電子機器にとって過酷な環境です。絶え間ない水しぶきや蒸気、結露――これらは普通のヒーターにとって死活的なダメージとなります。 そこで私たちは、違うものを作りました。シャワーの中でも問題なく動作し、かつその場所にふさわしいヒーターです。クォーツチューブからコネク...

序論 ウエハーの製造において、適切な温度管理は単なる細かい点ではありません。それは、良質な製品を得るか、全滅させるかの分かれ道なのです。もしプロセスで0.1度という精度での温度管理が求められる場合、加熱機能は後回しにしてはいけません。それは、正確に調整された装置のように機能しなければなりません。...

はじめに 当社では、ファンドエンドの製造工程で使用されるウェーハ酸化用の加熱素子を製造しています。これらは、頑丈で信頼性の高いクォーツ製ハロゲンランプであり、必要な場所に安定した高強度の赤外線熱を供給します。酸化処理室では、ウェーハ全体の温度が均一であること、そして停止時間がないことが、良い生産性...

はじめに これらのオーブンが効果的に動作するための要素について、率直に話しましょう。単に普通のランプを使って済ませるわけではありません。ウェーハの乾燥のためには、加熱素子を一から設計しています。半導体製造においては、時間をかけても安定した、均一な熱が必要です。 これは短波赤外線放射体であり、制御さ...

CE認証を受けたハロゲン式赤外線ヒーター：バスルームで即座に暖かさを提供します。 冬の朝、バスルームに入ってヒーターのスイッチを入れてから、じっと待つだけ……そんな経験はありませんか？このCE認証済みの赤外線ヒーターは、その問題を解決するために作られました。すぐに暖かさが欲しいのです。ゆっくりと暖...

露光工程においては、フォトレジストはわずかなズレも許しません。ソフトベイク時に2℃のズレがあると、露光後に特徴の歪みが生じます。ハードベイクでは端部分が過度に加熱され、エッチングプロファイルが崩れてしまいます。そのため、ウェルフロー環境下で粒子を発生させない、クラス1～100に適合したクリーンルー...

パッケージング直前の工程では、ウェーハが最終的な洗浄工程を経て出てくると、時間のカウントダウンが始まります。表面に残った水分は大きな問題となり、空洞や層間剥離、歩留まりの低下を引き起こします。わずかな温度の変動であっても、フォトレジストの品質が損なわれ、再現性が失われてしまいます。したがって、リソ...

ファブ内では、ウェーハレベルでの特性評価やフォトレジストの焼成時の温度変動は、単なる抽象的な数値に過ぎません。実際には、線幅の誤差や残留膜の発生、歩留まりの低下といった形で現れます。私たちは、このような変動を排除するための半導体デバイス特性評価用ヒーターを開発しました。これにより、熱管理がプロセス...

リソグラフィーの現場では、わずか0.5度の温度変化だけでフォトレジストの特性が変わってしまうことを早々に学びます。また、ハードベイク時に端の部分が過度に加熱されると、トラック上に汚れが発生してしまいます。クラス1～100のクリーンルームでは、ヒーターから出る1つの粒子だけで、大量の製品が台無しにな...