ウェーハを温かく保つために：なぜ私たちはトロリーに赤外線加熱を採用したのか
ウェーハを処理工程間で移動させる際、温度は非常に重要です。長い間、対流式オーブンが使われてきましたが、正直なところ、それは効率の悪い方法です。数枚のウェーハを温かく保つためだけに、部屋全体を温めてしまうのです。
そこで私たちは、クリーンルーム内のトロリーに赤外線ランプを使用するようにしました。これは、より効率的な方法です。
頭痛の種を減らしながらエネルギーを節約
赤外線の特徴は、放射によって熱を与える点です。トロリーの周囲の空気を温める代わりに、直接ウェーハに熱を当てるのです。これは、「グリーン工場」を構築しようとする人々にとって大きなメリットです。無駄なエネルギーの消費を大幅に減らすことができます。また、これらのランプは数秒で所定の温度に到達します。長時間の温機待ちをする必要もありません。電源を入れればすぐに機能します。とてもシンプルです。
ハードウェアに関する詳細
一般的には、短波長のクォーツ素子を使用しています。これにより、材料内に速やかに熱が伝わり、トロリーの筐体上でのハードウェアのサイズを小さく抑えることができます。また、焦点距離の調整にも多くの時間を費やしています。もし熱がウェーハ全体に均等に行き渡らなければ、全体的な処理が無意味になってしまいます。
ただし、注意点もあります。赤外線ランプは多くの電力を消費します。注意しないと、回路に過負荷がかかり、何かが壊れてしまう可能性があります。そのため、スイッチを入れる前に、ケーブルや電源装置がピーク負荷に耐えられるかを確認してください。
難しい点
赤外線は速い反面、強力です。強烈な「高温域」が生じます。もしトロリーの遮蔽が不十分だと、クリーンルーム内の空気が温まったり、最悪の場合、トロリー自体にある敏感なセンサーが壊れてしまうこともあります。
これを解決するために、反射コーティングを使用しています。これにより、熱が再びワークピースに返され、ハードウェアが冷却されます。これはバランスを取る必要がある作業です。迅速な温度上昇は得られますが、効果的に機能させるためには、遮蔽にも注意が必要です。