http://quartz-heater-source.com/ja/tags/%E3%81%99%E3%81%99%E3%81%90/ Recent content in すすぐ on Your Quartz Heater Source Hugo ja Sun, 07 Jun 2026 01:32:11 +0800 http://quartz-heater-source.com/ja/posts/waterproof-infrared-lamp-for-rinse/ Sun, 07 Jun 2026 01:32:11 +0800 http://quartz-heater-source.com/ja/posts/waterproof-infrared-lamp-for-rinse/ <p><img src="http://quartz-heater-source.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="すすぎ用防水赤外線ランプ"></p> <p>ウェーハフロアにおいて、リンス工程の温度安定性は単なる望ましい条件ではなく、実際のプロセス制御変数です。<br> リンス水の温度が変動すると、フォトレジスト残渣やエッジビードが発生しやすくなり、粒子数も増加、良品ロットがリジェクトされるリスクが高まります。そこで、リンスゾーンの熱均一性を±0.1℃以内に維持するため、防水型赤外線ランプを<a href="https://henruite.com">開発</a>しました。これにより、リンス工程は推測ではなく固定レシピのように安定して稼働します。</p>