http://quartz-heater-source.com/ja/tags/%E3%82%AB%E3%82%B9%E3%82%BF%E3%83%A0/ Recent content in カスタム on Your Quartz Heater Source Hugo ja Fri, 19 Jun 2026 02:29:42 +0800 http://quartz-heater-source.com/ja/posts/custom-infrared-heater-for-wafer/ Fri, 19 Jun 2026 02:29:42 +0800 http://quartz-heater-source.com/ja/posts/custom-infrared-heater-for-wafer/ <p><img src="http://quartz-heater-source.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="ウェハ用カスタム赤外線ヒーター"></p> <p>リソグラフィーの工程において、フォトレジストの加熱処理は単なる<a href="https://henruite.com">推奨事項</a>ではなく、必須の条件です。0.5℃の温度変動だけでも、ウェハの寸法管理に影響を与えます。また、高温領域での不均一性も、全体の歩留まりを低下させてしまいます。そのため、特定のベンダーに頼らず、OEM製品と同等の性能を持つヒーターが<a href="https://o-yate.net">必要</a>です。</p> <p>当社では、フォトレジストのソフトベイクやハードベイクに最適化された、カスタム製の赤外線ヒーターを製造しています。このシステムにより、ウェハ表面の温度分布を±0.1℃<a href="https://goldisgood.com">以内</a>に抑えることができます。また、設定値の再現性も高く、熱管理をスムーズに行えます。近赤外線エミッターを使用することで、エネルギーを直接ウェハに伝達でき、コマンドから結果が出るまでの遅延が最小限に抑えられます。</p>