以下に、次の分類用語を使用するページがあります “グローブボックス” グローブボックス用赤外線ヒーター素子 故障したランプによって生産が止まってしまわないようにしましょう。 高負荷の半導体製造を行っている方なら、その恐ろしい状況をご存知でしょう。赤外線ランプが壊れてしまうと、単にヒーターが使えなくなるだけではありません。石英の破片やハロゲンガスがウエハーに降り注ぎます。本当にひどい状況です。そして、それ... Read more...
グローブボックス用赤外線ヒーター素子 故障したランプによって生産が止まってしまわないようにしましょう。 高負荷の半導体製造を行っている方なら、その恐ろしい状況をご存知でしょう。赤外線ランプが壊れてしまうと、単にヒーターが使えなくなるだけではありません。石英の破片やハロゲンガスがウエハーに降り注ぎます。本当にひどい状況です。そして、それ... Read more...