http://quartz-heater-source.com/ja/tags/%E3%82%B7%E3%82%B9%E3%83%86%E3%83%A0/ Recent content in システム on Your Quartz Heater Source Hugo ja Sun, 21 Jun 2026 02:36:09 +0800 http://quartz-heater-source.com/ja/posts/industrial-wafer-drying-system-heater/ Sun, 21 Jun 2026 02:36:09 +0800 http://quartz-heater-source.com/ja/posts/industrial-wafer-drying-system-heater/ <p><img src="http://quartz-heater-source.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="工業用ウェーハ乾燥システムのヒーター"></p> <p>ファブの現場では、乾燥チャック上にある1ナノメートル未満の微粒子が、わずか<a href="https://goldisgood.com">数秒</a>で300mmサイズのウェーハを破壊してしまうことがあります。旧式のヒーターでは温度が不安定になり、フォトレジスト処理後には線幅のばらつきが生じます。そのため、プロセスに合わせて温度をコントロールする必要があります。</p> <p><strong>重要なのは何か</strong> 私たちは、リソグラフィーに適した熱性能を持つ産業用ウェーハ乾燥装置用ヒーターを開発しました。その核心部分はクォーツ・ハロゲン放射型デザインで、迅速かつ再現性の高い応答を実現します。これにより、プロセス全体を通して±0.1℃の範囲内でウェーハの温度を均一に保つことができます。温度の再現性も高く、そのためソフトベイクやハードベイクのプロセスも安定して行えます。</p>