スマートセンサーパッケージング赤外線

Mon, 20 Jul 2026 09:34:10 +0800

もう、温度を推測するのはやめましょう。ファブ内での赤外線センシングの実際の効果を見てみましょう。
現代のファブを構築しようとするなら、まず行うべきことは、手動での温度チェックを廃止することです。正直言って、ハンドヘルド型のプローブを使ったり、古い方式の記録に頼るのはもはや効果的ではありません。私たちは、生の熱情報を実際に利用できる形に変えるために、スマートな赤外線センサーを使用しています。これが、生産プロセスを真にデジタル化する唯一の方法です。

昔の方法の問題点
熱電対を例に考えてみましょう。それらは特定の場所の温度しか示しません。また、反応が遅く、他の部分の状況は把握できません。
一方、赤外線センサーは異なります。リアルタイムで全体の温度分布を把握できます。このセンサーを包装ラインや半導体ファブに導入すれば、推測の必要がなくなります。どこに熱が集まっているか、またはどこに冷却点があって生産効率が低下しているかがわかります。まるで暗い部屋に明かりをつけるようなものです。

パッケージング工場前での半導体の乾燥

Thu, 02 Jul 2026 03:30:51 +0800

パッケージング直前の工程では、ウェーハが最終的な洗浄工程を経て出てくると、時間のカウントダウンが始まります。表面に残った水分は大きな問題となり、空洞や層間剥離、歩留まりの低下を引き起こします。わずかな温度の変動であっても、フォトレジストの品質が損なわれ、再現性が失われてしまいます。したがって、リソグラフィーと同じく厳格な乾燥処理が必要ですが、同時にパッケージングのスピードにも対応できる必要があります。

内部で重要なのは何か？

ウェーハ全体の温度均一性を±0.1℃以内に保ち、設定温度の再現性も±0.2℃以内に抑えています。ヒーターには短波赤外線を使用し、クォーツ製の窓を通じて効率的かつ迅速にエネルギーを供給します。また、機械的な安定性のために炭素繊維強化材が使用されています。クラス1～100の清浄室では、0.1μmサイズの粒子数は0.1個/cm²未満に抑えられています。

パッケージング on Your Quartz Heater Source

スマートセンサーパッケージング 赤外線

パッケージング工場前での半導体の乾燥

内部で重要なのは何か？

スマートセンサーパッケージング赤外線