http://quartz-heater-source.com/ja/tags/%E3%83%99%E3%83%B3%E3%83%81/ Recent content in ベンチ on Your Quartz Heater Source Hugo ja Fri, 03 Jul 2026 03:33:50 +0800 http://quartz-heater-source.com/ja/posts/clean-room-bench-infrared-lamp/ Fri, 03 Jul 2026 03:33:50 +0800 http://quartz-heater-source.com/ja/posts/clean-room-bench-infrared-lamp/ <p><img src="http://quartz-heater-source.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="クリーンルーム用ベンチ用赤外線ランプ"></p> <p>露光工程においては、フォトレジストはわずかなズレも許しません。ソフトベイク時に2℃のズレがあると、露光後に特徴の歪みが生じます。ハードベイクでは端部分が過度に加熱され、エッチングプロファイルが崩れてしまいます。そのため、ウェルフロー環境下で<a href="https://o-yate.com">粒子</a>を発生させない、クラス1～100に適合したクリーンルーム内に赤外線ランプを設置し、作業台でのばらつきを抑えています。</p>