http://quartz-heater-source.com/ja/tags/%E6%B8%85%E6%BD%94/ Recent content in 清潔 on Your Quartz Heater Source Hugo ja Tue, 30 Jun 2026 01:47:38 +0800 http://quartz-heater-source.com/ja/posts/clean-room-oven-infrared-heater/ Tue, 30 Jun 2026 01:47:38 +0800 http://quartz-heater-source.com/ja/posts/clean-room-oven-infrared-heater/ <p><img src="http://quartz-heater-source.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="クリーンルーム用オーブン・赤外線ヒーター"></p> <p>リソグラフィーの現場では、わずか0.5度の温度変化だけでフォトレジストの特性が変わってしまうことを早々に学びます。また、ハードベイク時に端の部分が過度に加熱されると、トラック上に汚れが発生してしまいます。クラス1～100のクリーンルームでは、ヒーターから出る1つの粒子だけで、大量の製品が台無しになってしまいます。そのため、私たちは赤外線ヒーターを使ったクリーンルーム用オーブンを開発しました。これにより、熱がウェーハ上にしか届かず、クリーンルーム内に漏れ出ることがありません。</p>