真空 on Your Quartz Heater Source

真空チャンバー用赤外線ヒーター

Thu, 16 Jul 2026 01:34:09 +0800

時間の無駄をやめよう：なぜ真空赤外線ヒーターが効果的なのか
半導体の処理に関わったことがある人なら、ウェーハが適切な温度になるまで待つという苦労を知っているはずです。長い間、私たちはチャンバー内に熱い空気を送り込むしかありませんでした。確かにそれでも機能はしましたが、速度が遅く、また、温度分布も完全に均一ではありませんでした。

だからこそ、真空赤外線ヒーターに切り替えることは大きな救いとなります。空気を使って熱を伝える代わりに、赤外線は放射エネルギーを利用します。つまり、直接基板に熱が当たるのです。

真空対応の赤外線ヒーター

Wed, 15 Jul 2026 10:45:17 +0800

半製品の炭素排出量を削減するには：なぜ真空赤外線が最適なのか
クリーンルームで作業したことがある人なら、その手順はよくわかるでしょう。熱を加える際には極めて高い精度が求められますが、酸化や不純物によってすべてを台無しにしないためには、真空状態で行う必要があります。

長年にわたり、私たちは従来の抵抗式ヒーターを使用してきました。しかし、問題点もあります。それは、エネルギーの消費が多いということです。実際にウェーハを加熱するのではなく、空気やチャンバーの壁を加熱するのにエネルギーの半分が使われてしまいます。