http://quartz-heater-source.com/ja/tags/%E7%B5%84%E3%81%BF%E7%AB%8B%E3%81%A6/ Recent content in 組み立て on Your Quartz Heater Source Hugo ja Wed, 24 Jun 2026 01:14:21 +0800 http://quartz-heater-source.com/ja/posts/fab-assembly-workshop-heater/ Wed, 24 Jun 2026 01:14:21 +0800 http://quartz-heater-source.com/ja/posts/fab-assembly-workshop-heater/ <p><img src="http://quartz-heater-source.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="ファブ組立ワークショップ用ヒーター"></p> <p>ファブ内では、そのヒートプレートの温度曲線は、ウェーハを加熱するだけでなく、プロセスの条件を決定する重要な要素です。ソフトベイクやハードベイクの際に数度の温度変動があるだけで、ウェーハの寸法が変わったり、側壁の角度がずれたりし、歩留まりが<a href="https://o-yate.com">規格外</a>になってしまいます。当社のファブ用ヒーターは、ウェーハ全体の温度均一性を重視して設計されており、基板全体で±0.1℃の精度を維持することで、リソグラフィーやエッチングの過程でフォトレジストのプロファイルが安定した状態を保ちます。</p>