글로브박스 적외선 히터 소자

타버린 램프가 생산 공정을 망치게 하지 마세요. 고부하의 반도체 생산을 하고 있다면, 그 악몽 같은 상황을 잘 알고 있을 것입니다. 인광등이 글로브박스 안에서 폭발하는 것이죠. 갑자기 단순히 히터가 고장난 것이 아니라, 석영 조각들과 할로겐 가스가 웨이퍼 위로 떨어집...