http://quartz-heater-source.com/ko/tags/%EB%93%9C%EA%B0%80/ Recent content in 드가 on Your Quartz Heater Source Hugo ko Tue, 02 Jun 2026 03:59:19 +0800 http://quartz-heater-source.com/ko/posts/wafer-degas-infrared-heater/ Tue, 02 Jun 2026 03:59:19 +0800 http://quartz-heater-source.com/ko/posts/wafer-degas-infrared-heater/ <p><img src="http://quartz-heater-source.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="웨이퍼 디가스 적외선 히터"></p> <p>공장 현장에서 포토레지스트 베이킹은 단순히 온도를 맞추는 문제가 아니다. 중요한 것은 열 예산(thermal budget)이며, 이것이 치수 제어(CD control)를 결정한다—이 점은 변함없다. 디가스 성능이 변하기 시작하면 즉시 알 수 있다. 엣지 비드(edge beads), 풋팅(footing), 웨이퍼를 폐기물로 만드는 입자 급증 현상이 그것이다. 우리는 소프트 베이크와 하드 베이크 모두에서 이러한 불확실성을 제거하기 위해 웨이퍼 디가스 적외선 히터를 설계했다. 교대 근무가 바뀌어도 일정한 성능을 유지한다.</p>