http://quartz-heater-source.com/ko/tags/%EC%9D%B8%ED%94%84%EB%A0%88/ Recent content in 인프레 on Your Quartz Heater Source Hugo ko Tue, 30 Jun 2026 01:47:38 +0800 http://quartz-heater-source.com/ko/posts/clean-room-oven-infrared-heater/ Tue, 30 Jun 2026 01:47:38 +0800 http://quartz-heater-source.com/ko/posts/clean-room-oven-infrared-heater/ <p><img src="http://quartz-heater-source.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="클린룸 오븐 적외선 히터"></p> <p>리소그래피 공정에서는, 약간의 온도 변화만으로도 포토레지스트의 특성이 변할 수 있다는 것을 빠르게 깨닫게 됩니다. 또한, 하드 베이크 과정에서 가장자리 부분의 온도가 너무 높아지면, 웨이퍼 표면에 이상 현상이 발생하게 됩니다. 클래스 1–100 등급의 청정실에서는, 히터에서 나오는 단 하나의 입자라도 전체 생산물을 망칠 수 있습니다. 그래서 우리는 적외선 히터를 사용하여 열이 웨이퍼에만 집중되도록 설계했습니다.</p>