http://quartz-heater-source.com/ko/tags/%ED%8C%8C%EB%8F%84/ Recent content in 파도 on Your Quartz Heater Source Hugo ko Thu, 04 Jun 2026 01:04:50 +0800 http://quartz-heater-source.com/ko/posts/short-wave-infrared-lamp-for-ic/ Thu, 04 Jun 2026 01:04:50 +0800 http://quartz-heater-source.com/ko/posts/short-wave-infrared-lamp-for-ic/ <p><img src="http://quartz-heater-source.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="IC용 단파 적외선 램프"></p> <h1 id="role">Role</h1> <p>공정 현장에서는 열 예산이 선택 사항이 아니다. 소프트 베이크에서 1도만 빗나가도 포토레지스트 프로파일이 변한다. 하드 베이크를 너무 뜨겁게 돌리면 오버레이 드리프트가 빠르게 나타나며, 중요 치수가 규격을 벗어나기 전에 알게 된다. 그래서 우리는 IC용 단파장 적외선(SWIR) 램프를 한 가지 현실에 맞춰 설계했다. 웨이퍼, 포토레지스트, 리소그래피 스택이 필요로 하는 바로 그 위치에 빠르고 제어 가능하며 반복 가능한 열이 필요하다는 것이다.</p>