포토레지스트 소프트 베이크 램프

리소그래피 공정에서는 약간의 온도 변화만으로도 문제가 생길 수 있습니다. 단 0.5도만 온도가 변해도 치명적인 결과를 초래할 수 있죠. 여기에 입자가 발생하면, 원래는 좋은 품질의 제품이라도 폐기되어버립니다. 따라서 진정한 공정 파라미터처럼 작용하는 열원이 필요합니다...