http://quartz-heater-source.com/ko/tags/%ED%97%B9%EA%B5%AC%EB%8B%A4/ Recent content in 헹구다 on Your Quartz Heater Source Hugo ko Sun, 07 Jun 2026 01:32:11 +0800 http://quartz-heater-source.com/ko/posts/waterproof-infrared-lamp-for-rinse/ Sun, 07 Jun 2026 01:32:11 +0800 http://quartz-heater-source.com/ko/posts/waterproof-infrared-lamp-for-rinse/ <p><img src="http://quartz-heater-source.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="세척용 방수 적외선 램프"></p> <h1 id="웨이퍼-플로어에서-린스-단계의-온도-안정성은-선택-사항이-아니다-이는-실제-공정-제어-변수이다">웨이퍼 플로어에서 린스 단계의 온도 안정성은 선택 사항이 아니다. 이는 실제 공정 제어 변수이다.</h1> <p>린스 워터의 온도가 변동하면, 포토레지스트 잔류물과 엣지 비드가 남기 시작한다. 입자 수가 증가하고 양품 로트가 폐기된다. 우리는 린스 구역의 열 균일성을 ±0.1°C 이내로 유지하기 위해 방수 적외선 램프를 제작했으며, 이를 통해 린스 단계가 추측이 아닌 정해진 레시피처럼 작동한다.</p>