
Hentikan proses pemanasan udara: Cara yang lebih baik untuk mengurangkan pelepasan karbon dalam proses pembuatan semikonduktor
Jika kita benar-benar ingin mencapai keadaan neutral karbon dalam pengeluaran semikonduktor, kita perlu berhenti bergantung pada kaedah pemanasan tradisional. Kaedah tersebut sangat tidak cekap. Kita sebaliknya menggunakan sistem inframerah gelombang pendek (Shortwave Infrared/ SWIR). Sistem ini lebih efisien kerana ia mengurangkan pembaziran tenaga yang berlaku akibat penggunaan ketuhar konveksyen biasa.
Masalah utamanya ialah kaedah pemanasan tradisional membuang banyak tenaga.
Kita perlu memanaskan seluruh udara di dalam bilik tersebut hanya untuk membawa wafer ke suhu yang sesuai. Proses ini lambat dan mahal. Sistem inframerah pula berbeza; ia menggunakan prinsip pemindahan tenaga secara radiasi, sehingga tenaga sampai terus ke sasaran tanpa pembaziran tenaga.
Kelebihannya ialah peralatan yang digunakan mempunyai jisim haba yang lebih rendah. Masa yang diperlukan untuk mencapai suhu yang diinginkan menjadi lebih singkat, dan penggunaan tenaga bagi setiap wafer juga berkurangan.
Pemilihan spesifikasi yang tepat
Dalam bilik bersih, kepadatan haba merupakan faktor yang perlu diberi perhatian. Ketika memilih lampu kuarsa berkuasa tinggi, kita perlu menyeimbangkan voltan yang digunakan. Jika voltan ditingkatkan, filamen yang digunakan boleh menjadi lebih nipis. Ini akan menyebabkan spektrum pelepasan haba beralih ke panjang gelombang yang lebih pendek. Inilah cara untuk memastikan haba dapat menembusi lapisan silikon atau fotoresist, bukannya hanya memanaskan permukaannya sahaja.
Kompromi yang perlu dipertimbangkan
Kita menggunakan konektor khusus agar lampu-lampu ini dapat digunakan pada sistem lama tanpa masalah. Kita ingin agar lampu-lampu ini mudah dipasang, kerana tiada siapa yang mahu fasiliti mereka terhenti selama seminggu semata-mata untuk proses penyesuaian. Namun, ada satu masalah: sistem inframerah berkepadatan tinggi menghasilkan haba yang sangat intensif. Jika sistem penyejukan tidak cukup kuat, wafer akan rosak. Kita perlu memastikan keseimbangan antara kuasa lampu dan aliran air penyejuk. Jika tidak, kestabilan proses pengeluaran akan terjejas.
Mengapa ini penting untuk planet ini?
Dengan mengurangkan masa pemanasan dari beberapa jam kepada beberapa minit, beban tenaga yang diperlukan dapat dikurangkan. Ini merupakan cara yang mudah untuk mengurangkan pelepasan karbon. Ia merupakan langkah positif untuk alam sekitar dan juga untuk mengurangkan bil elektrik.