Perumahan pemanas keluli tahan karat fab

Tue, 09 Jun 2026 01:13:44 +0800

Pada tingkat litografi, photoresist tidak boleh dibiarkan terjejas oleh pergeseran suhu. Perubahan 2°C pada profil soft bake atau hard bake akan mengganggu kawalan dimensi kritikal—kemudian operasi terhenti. Kami membina sarung pemanas keluli tahan karat untuk wafer fabs di mana kestabilan terma bukan sekadar “pilihan.” Ia adalah proses.

Apa yang penting di bawah hud
Sarung ini menggunakan exterior keluli tahan karat elektropolished berketulenan tinggi dengan susunan pemanas dalaman yang diselaraskan untuk keseragaman tahap wafer—±0.1°C di seluruh permukaan bakar. Sensor NIR terbina dalam dan laluan kawalan yang tertutup memastikan pengulangan titik setpoint yang ketat, supaya setiap soft bake dan hard bake mencapai keadaan yang sama, kitaran demi kitaran. Ia diklasifikasikan untuk bilik bersih Kelas 1–100 dan direka untuk mengurangkan penghasilan zarah: jahitan licin, pelepasan gas minimum, serta permukaan yang tahan terhadap protokol pembersihan basah agresif. Kuasa disesuaikan dengan utiliti fab, dan antara muka boleh dipasang pada platform pengendalian wafer standard tanpa memerlukan pengubahsuaian semula.

Tidak Karat on Your Quartz Heater Source

Perumahan pemanas keluli tahan karat fab