
Het opwarmen van wafers: waarom we overstapten op IR-verwarming voor onze karren
Wanneer je wafers van de ene verwerkingsfase naar de andere brengt, is temperatuur cruciaal. Lang gebruikten we convectieovens, maar eerlijk gezegd: dat is zonde. Je moet de hele ruimte opwarmen alleen om een paar wafers warm te houden.
Daarom begonnen we infrarode (IR)-lampen te gebruiken op onze karren in de schone ruimte. Dit is een veel slimmere manier om dit te doen.
Energie besparen zonder problemen
IR werkt door straling. In plaats van de lucht rondom de kar op te warmen, richten we de warmte rechtstreeks op de draagstructuur van de wafel. Dit is een grote winst voor iedereen die een “groene” fabriek wil bouwen. We hebben veel energieverlies verminderd. Bovendien bereiken deze lampen hun doeltemperatuur in seconden. Je hoeft het apparaat niet 24/7 aan te laten staan om een lange opwarmtijd te voorkomen. Gewoon aanzetten en klaar. Eenvoudig.
De technische details
We gebruiken meestal kortegolfkuartz-elementen. Deze dringen sneller door het materiaal heen, zodat we het apparaat kleiner kunnen houden en het gemakkelijk op de kar kunnen plaatsen. We besteden ook veel tijd aan het instellen van de brandpuntsafstand, want als de warmte niet gelijkmatig over de wafel wordt verdeeld, is het hele proces zinloos.
Maar let wel op: houd rekening met de stroomverbruik. Deze IR-lampen kunnen veel stroom verbruiken. Als je niet voorzichtig bent, kan dit leiden tot overbelasting van het elektriciteitsnet. Zorg er dus voor dat je kabels en stroomvoorziening bestand zijn tegen het maximale verbruik, voordat je het apparaat aanzet.
Het lastige deel
IR is snel, maar het kan ook gevaarlijk zijn. Het creëert sterke “hete zones”. Als de kar niet goed beschermd is, kan de lucht in de schone ruimte opwarmen – of nog erger: kan een gevoelige sensoren op de kar beschadigd raken.
Om dit op te lossen, gebruiken we reflecterende coatings. Hierdoor wordt de warmte teruggekaatst richting het product, zodat het apparaat koel blijft. Het is een kwestie van balans vinden: je wilt natuurlijk een snelle opwarmtijd, maar je moet wel goed opletten met de bescherming, zodat het apparaat goed funcionaalt.