Infraroodlamp voor schone kamerbank

Fri, 03 Jul 2026 03:33:50 +0800

Buiten de productieomgeving vergeeft het fotorezistentiemateriaal geen kleine afwijkingen. Bij een zachte verhitting van 2°C kan dit leiden tot storingen in het proces, doordat het oplosmiddel zich niet goed kan verzamelen. Bij een harde verhitting kunnen er problemen ontstaan aan de randen van het materiaal, waardoor het etchede profiel wordt verstoord. We gebruiken een infraroodlamp in de schone ruimte om deze afwijkingen te voorkomen.

Wat belangrijk is onder de motorkap De NIR-lampstraal bereikt het fotorezistentiemateriaal rechtstreeks met kortegolfinfrarood licht. Hierdoor wordt alleen het materiaal verwarmd, niet de ondergrond. Over het hele oppervlak van de chip blijft de temperatuur binnen ±0,1°C. De herhaalbaarheid ligt bij ±0,05°C per verhittingscyclus. De lamp bestaat uit kwarts-halogeen en is geplaatst in een schone ruimte die voldoet aan de vereisten van klasse 1–100. Hierdoor worden er geen deeltjes vrijgegeven tijdens het gebruik. De vermogensdichtheid kan worden aangepast voor chips met een diameter van 150 mm tot 300 mm. De snelheid van de verhitting kan worden geregeld, zodat zelfs dunne lagen het goed overleven. Het systeem werkt 24/7 zonder onverwachte stilstanden. Na 5.000 uur blijft de nauwkeurigheid van het proces binnen de grenzen van 5%.

Bank on Your Quartz Heater Source

Infraroodlamp voor schone kamerbank