Verwarmer voor industriëel chipdroogsysteem

Sun, 21 Jun 2026 02:36:09 +0800

Op de productielijn kan een deeltje van minder dan 1 nm op een droogingschacht al in seconden schade toebrengen aan een 300 mm grote chip. Oude verwarmingsapparaten werken niet stabiel, en thermische oneffenheden leiden tot variaties in de dikte van de lagen na het gebruik van fotoresist. Er is dus een thermische controle nodig die zich kan aanpassen aan de procesvereisten, in plaats van dat deze controle juist in de weg staat.

Wat belangrijk is onder het oppervlak
We hebben het industriële systeem voor het drogen van chips ontworpen met behulp van technologieën die geschikt zijn voor gebruik in de lithografie-industrie. Het hart van het systeem bestaat uit een kwarts-halogeenverwarmingssysteem dat is afgesteld om snel en nauwkeurig te reageren. Hierdoor wordt er een minimale temperatuursverschillen gecreëerd, namelijk binnen ±0,1°C gedurende het hele proces. De temperatuurregulatie blijft precies hetzelfde, zodat de resultaten consistent blijven, batch na batch.

Industrieel on Your Quartz Heater Source

Verwarmer voor industriëel chipdroogsysteem