Verhitter voor de productie van koolstofnanobuizen

Fri, 26 Jun 2026 01:40:35 +0800

Op de productieruimte komt het erop neer dat de temperatuur nauwkeurig moet worden geregeld – dat is simpel gezegd. Een afwijking van 0,5°C tijdens het zacht bakken van de fotoresist, of een koud plekje op het wafeloppervlak tijdens het drogen, kan leiden tot fouten in de afmetingen en tot een hogere concentratie deeltjes. Hierdoor kunnen goede chips veranderen in schroot. We hebben speciale heaters ontworpen met koolstofnanobuizen, zodat deze problemen niet meer optreden.

Wat belangrijk is onder het oppervlak We hebben gekozen voor een verwarmingselement gemaakt van koolstofnanobuizen, omdat dit element snel reageert, zich goed kan lokaliseren en een constante emissiviteit heeft. In combinatie met kortegolf-infraroodlicht kan deze technologie energie efficiënt overdragen. Het resultaat is een uniforme temperatuur over het actieve gebied van ±0,1°C, en een herhalbaarheid van ±0,2°C. De regeling van de temperatuur zorgt ervoor dat de temperatuur binnen bepaalde grenzen blijft, zonder dat er sprake is van overtollige energieverbruik. De constructie zorgt er bovendien voor dat er geen deeltjes worden gegenereerd, waardoor het systeem geschikt is voor schoonheidssystemen van klasse 1–100. Het gesloten controleproces zorgt ervoor dat het systeem continu kan werken, zonder onverwachte stilstanden.

Nanobuis on Your Quartz Heater Source

Verhitter voor de productie van koolstofnanobuizen