http://quartz-heater-source.com/nl/tags/ontgassen/ Recent content in Ontgassen on Your Quartz Heater Source Hugo nl Tue, 02 Jun 2026 03:59:19 +0800 http://quartz-heater-source.com/nl/posts/wafer-degas-infrared-heater/ Tue, 02 Jun 2026 03:59:19 +0800 http://quartz-heater-source.com/nl/posts/wafer-degas-infrared-heater/ <p><img src="http://quartz-heater-source.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Wafer ontgassing infrarood verwarming"></p> <p>Out on the fab floor draait het bij de photoresist bake niet alleen om het bereiken van een bepaalde temperatuur. Het is het thermische budget dat de controle over de kritische dimensie bepaalt—punt. Zodra de degas-prestaties beginnen te verschuiven, merkt u dat meteen: edge beads, footing, deeltjespieken die wafers tot afval maken. Wij hebben onze wafer degas infraroodverwarmers ontworpen om die onzekerheid uit zowel soft bake als hard bake weg te nemen, shift na shift.</p> <p><strong>Wat technisch van belang is</strong><br> We gebruiken kortegolf-infrarood met snelle respons en directe energietransfer, zodat u thermische uniformiteit op wafer-niveau binnen ±0,1°C krijgt. De behuizing van de verwarmingselementen bestaat uit kwarts en keramiek van hoge zuiverheid—<a href="https://o-yate.net">geschikt</a> voor Class 1–100 cleanroom gebruik, met nul deeltjesgeneratie en lage uitstoot van gassen. Bakprofielen blijven herhaalbaar omdat de regeling gesloten-lus is en de setpoints stabiel blijven, zelfs bij een 7×24 bedrijfsduur.</p>