Aanpasbare infraroodverwarmer voor wafer

Fri, 19 Jun 2026 02:29:42 +0800

Op de lithografieafdeling is het verhitten van de fotoresist geen aanrader – het is eerder een noodzakelijke voorwaarde. Een verschil van 0,5°C heeft invloed op de nauwkeurigheid van de meting van de afmetingen van de chip. Bovendien kan ongelijkmatige warmteverdeling leiden tot lagere productiekwaliteit. Er is dus behoefte aan een heater die net zo goed werkt als die van de originele fabrikant, zonder dat je afhankelijk bent van één bepaald bedrijf.

Wij ontwikkelen maatwerk-infraroodverwarmers voor thermische controle op het niveau van de chip. Deze zijn speciaal ontworpen voor zowel zacht als hard verhiten van de fotoresist. Het systeem houdt de temperatuur op het oppervlak van de chip binnen ±0,1°C. De precisie van de instellingen is voldoende om de thermische parameters stabiel te houden. We gebruiken near-infraroodemitters, omdat deze energie rechtstreeks in de chip kunnen leveren. Hierdoor is de respons snel en is er minimale vertraging tussen het geven van een commando en het bereiken van het gewenste resultaat.

Op Maat on Your Quartz Heater Source

Aanpasbare infraroodverwarmer voor wafer