На производстве фотополимер не терпит ни малейших отклонений в параметрах обработки. При мягкой обработке отклонения составляют около 2°C, а также возникает проблема с остатками растворителя, что приводит к искажению формы элементов после экспозиции. При жесткой обработке на краях пластины возникает перегрев, из-за чего профиль эрозии меняется. Мы устанавливаем инфракрасную лампу на стол в чистой комнате, чтобы устранить такие отклонения прямо на рабочем месте.
Что действительно важно Инфракрасная лампа воздействует напрямую на слой фотополимера с помощью кратковолнового инфракрасного излучения, тем самым нагревая сам фотополимер, а не его носитель. Благодаря этому температура на всей поверхности пластины сохраняется в пределах ±0,1°C, а точность повторяемости составляет ±0,05°C. Источник света выполнен из кварца и галогена; он размещается в корпусе, соответствующем стандартам класса 1–100, что предотвращает появление частиц при работе в условиях ламинарного потока. Мощность лампы можно регулировать для пластин размером от 150 до 300 мм. Скорость изменения мощности контролируется так, чтобы тонкие слои могли выдержать как мягкую, так и жесткую обработку. Система работает круглосуточно без перерывов, а отклонения в параметрах после 5 000 часов работы составляют менее 5%.
Причина успешной работы системы заключается в том, что её тепловая точность соответствует требованиям процесса литографии. Лампа обеспечивает стабильные температурные условия во время всех этапов обработки, что позволяет поддерживать стабильность размеров элементов на всем объеме производства. Высокая степень однородности снижает количество бракованных изделий и сокращает время на их проверку. Потребляемая мощность невелика, а быстрая и точная реакция лампы позволяет быстро менять параметры обработки, не нарушая качество получаемых изделий.
Некоторые производственные особенности Лампа требует специальной электросети в чистой комнате, а также кабелей, защищенных от электромагнитных помех, чтобы она не влияла на оборудование для экспозиции. При смене размера пластин необходимо провести короткую процедуру разогрева и калибровку. Источник света выделяет большое количество тепла, поэтому с ним необходимо обращаться согласно правилам чистой комнаты. Мы предоставляем специальный набор для замены лампы, чтобы техническое обслуживание не затягивалось.