На производственном участке температурная кривая нагревателя не только обеспечивает нагрев пластины, но и определяет параметры процесса. Небольшое отклонение температуры во время мягкого или жесткого нагрева может привести к изменению критических размеров пластины, смещению углов ее стенок, а также к тому, что качество изделия будет не соответствовать стандартам. Наш нагреватель предназначен для обеспечения равномерного нагрева по всей поверхности пластины – с допуском ±0,1°C. Это позволяет сохранять стабильность профиля фоторезиста на всех этапах литографии и выжигания.
Что важно при работе нагревателя Мы используем кварцево-галогеновые излучатели коротких волн в сочетании с нагревателем с низкой тепловой инерцией. Благодаря этому процесс нагрева происходит быстро и точно. Система управления использует калиброванные датчики, расположенные на поверхности пластины, а не на самом нагревателе. Таким образом, установленный уровень температуры соответствует реальной температуре на поверхности пластины. Нагреватель соответствует требованиям чистых помещений класса 1–100, не создает никаких частиц (это подтверждается в процессе эксплуатации), и может работать круглосуточно без перерывов. Повторяемость результатов работы нагревателя составляет 0,2% за 5 000 часов эксплуатации, что обеспечивает стабильность параметров процесса от партии к партии.
Почему нагреватель подходит для использования в процессе сборки и нагрева На станциях нагрева необходимо сохранять одинаковый профиль нагрева: мягкий нагрев для удаления растворителей, жесткий нагрев для затвердения маски. Чрезмерный нагрев может привести к образованию на поверхности пластины осадка; недостаточный нагрев оставляет остатки веществ на поверхности пластины. Наш нагреватель помогает сохранять правильный профиль нагрева, снижает количество бракованных изделий и сокращает время выполнения процесса за счет уменьшения времени стабилизации температуры. Потребляемая мощность соответствует тепловым нагрузкам, что позволяет снизить затраты на эксплуатацию без снижения скорости нагрева.
Несколько практических рекомендаций Устройство требует специального защищенного источника питания, а также чистого и сухого электрического напряжения – иначе может нарушиться равномерность нагрева. Замена разъемов в процессе эксплуатации может привести к изменению параметров калибровки на несколько десятых градуса. Перед установкой необходимо учитывать размеры устройства и проверить параметры процесса нагрева. Мы предоставляем карты калибровки и шаблоны параметров для мягкого и жесткого нагрева, но окончательная настройка все равно зависит от условий в камере и конструкции пластины.