Прекратите тратить время на сушку МЭМС-пластин!
Если вы по-прежнему используете горячий воздух для сушки пластин после их обработки или очистки, вы просто зря теряете время.
Я видел это во многих производствах. Горячий воздух кажется надежным средством для сушки, но он работает медленно. Сначала необходимо нагреть сам воздух, а затем уже этот воздух должен нагреть пластину. Этот процесс замедляет работу.
Вот в чем сила инфракрасного излучения:
Инфракрасные обогреватели не требуют использования воздуха – они направляют электромагнитное излучение прямо на поверхность пластины. Таким образом, нужная температура достигается за считанные секунды, а не минуты.
При обработке полупроводниковых материалов эти секунды имеют большое значение. Пластины быстрее проходят через процессуальные станции, что позволяет значительно сократить время обработки.
Но это не так просто, как просто заменить лампочку. Инфракрасное излучение обладает высокой тепловой емкостью. Если контроллеры температуры не настроены правильно, может возникнуть перегрев. Это может повредить структуру МЭМС-пластин или привести к перегреву всей конструкции. Необходимо иметь точный механизм контроля температуры, иначе будут проблемы.
Горячий воздух более щадящий по отношению к пластинам. Инфракрасное излучение же не щадит их.
Тем не менее, если вы работаете в больших объемах, инфракрасные обогреватели – лучший выбор. Устройства для их использования меньше по размеру, чем большие конвективные печи, поэтому можно обработать больше пластин без использования всего пространства.
К тому же, благодаря инфракрасному излучению достигается однородное нагревание пластин. Не нужно беспокоиться о запятнаниях от воды или химических остатках, которые возникают при неправильном распределении потока воздуха.
Если вы планируете расширить производство, это именно тот вариант, который вам нужен. Только убедитесь, что ваша система охлаждения сможет справиться с выделением тепла. Вы не хотите, чтобы остальные устройства перегревались во время сушки пластин.