Обогреватель для мастерской сборки фабрикатов

Wed, 24 Jun 2026 01:14:21 +0800

На производственном участке температурная кривая нагревателя не только обеспечивает нагрев пластины, но и определяет параметры процесса. Небольшое отклонение температуры во время мягкого или жесткого нагрева может привести к изменению критических размеров пластины, смещению углов ее стенок, а также к тому, что качество изделия будет не соответствовать стандартам. Наш нагреватель предназначен для обеспечения равномерного нагрева по всей поверхности пластины – с допуском ±0,1°C. Это позволяет сохранять стабильность профиля фоторезиста на всех этапах литографии и выжигания.

Что важно при работе нагревателя Мы используем кварцево-галогеновые излучатели коротких волн в сочетании с нагревателем с низкой тепловой инерцией. Благодаря этому процесс нагрева происходит быстро и точно. Система управления использует калиброванные датчики, расположенные на поверхности пластины, а не на самом нагревателе. Таким образом, установленный уровень температуры соответствует реальной температуре на поверхности пластины. Нагреватель соответствует требованиям чистых помещений класса 1–100, не создает никаких частиц (это подтверждается в процессе эксплуатации), и может работать круглосуточно без перерывов. Повторяемость результатов работы нагревателя составляет 0,2% за 5 000 часов эксплуатации, что обеспечивает стабильность параметров процесса от партии к партии.

Сборка on Your Quartz Heater Source

Обогреватель для мастерской сборки фабрикатов