TEL (Tokyo Electron) หลอดไฟสำหรับใช้ในการทำความร้อน

Thu, 25 Jun 2026 01:38:19 +0800

ในโรงงานผลิตชิป ปัญหาเรื่องความแตกต่างของอุณหภูมิระหว่างกระบวนการอบวัสดุโฟโตรีซิสต์หรือการอบแห้งวงจรรวมนั้นไม่ใช่เพียงแค่อุปสรรคเท่านั้น แต่ยังส่งผลให้มิติสำคัญของชิปเปลี่ยนแปลงไป และส่งผลเสียต่อประสิทธิภาพการผลิตอีกด้วย เราจึงออกแบบหลอดไฟ TEL ขึ้นมาเพื่อรักษาอุณหภูมิให้คงที่ตลอดกระบวนการผลิต

สิ่งที่สำคัญจริงๆ
หลอดไฟนี้ใช้หลอดไฮโดรเจนในคลื่นความถี่สั้น ซึ่งอยู่ภายในฝาครอบควอตซ์ที่มีความบริสุทธิ์สูง พร้อมด้วยระบบควบคุมแบบวงจรปิด ซึ่งช่วยให้อุณหภูมิของวงจรรวมอยู่ในช่วง ±0.1°C การตอบสนองของหลอดไฟนั้นรวดเร็ว ดังนั้นจึงไม่มีปัญหาเรื่องอุณหภูมิสูงเกินไประหว่างกระบวนการอบ

ในห้องปลอดฝุ่นระดับ Class 1–100 การสร้างฝุ่นขึ้นมาเป็นสิ่งที่หลีกเลี่ยงไม่ได้ แต่ด้วยการออกแบบนี้ จำนวนฝุ่นจะยังคงอยู่ในระดับที่คงที่ แม้ว่าจะมีการอบซ้ำหลายพันครั้งก็ตาม ความสามารถในการทำซ้ำผลลัพธ์สามารถรักษาไว้ได้นานกว่า 5,000 ชั่วโมง โดยมีความแปรปรวนของอุณหภูมิอยู่ที่น้อยกว่า 5%

เหตุใดจึงเหมาะสมกับกระบวนการผลิต
กระบวนการลิโธกราฟีต้องอาศัยการควบคุมอุณหภูมิอย่างเข้มงวด หลอดไฟนี้ช่วยให้สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ ซึ่งช่วยลดของเสีย และช่วยให้สามารถควบคุมมิติของชิปได้ดีขึ้น สำหรับการทำความสะอาดและอบแห้งวงจรรวม หลอดไฟนี้ช่วยขจัดความชื้นบนพื้นผิวได้โดยไม่ก่อให้เกิดความเครียดทางอุณหภูมิ ดังนั้นจึงสามารถทำงานได้เร็วขึ้น และใช้วัสดุน้อยลง ส่วนในขั้นตอนการบรรจุ หลอดไฟนี้ช่วยให้สามารถอบวัสดุปิดผิวและวัสดุเติมเต็มได้อย่างรวดเร็วและสม่ำเสมอ ซึ่งช่วยลดเวลาในการอบ และลดการใช้พลังงาน ผลลัพธ์คือ มีการทำซ้ำน้อยลง มีคุณภาพชิปที่ดีขึ้น และสามารถวางแผนการผลิตได้อย่างแม่นยำ

รายละเอียดทางปฏิบัติ
หลอดไฟนี้สามารถติดตั้งบนแพลตฟอร์ม TEL มาตรฐานได้ โดยมีตัวเชื่อมต่อและวิธีการติดตั้งที่เหมาะสม แต่การจัดตำแหน่งหลอดไฟให้ถูกต้องนั้นมีความสำคัญมาก โดยต้องมีระยะห่างระหว่างหลอดไฟกับวงจรรวมให้อยู่ในช่วงไม่เกินหลายมิลลิเมตร ควรมีระยะเวลาในการทดสอบก่อนการใช้งานจริง เพื่อให้หลอดไฟสามารถทำงานได้อย่างมีประสิทธิภาพ และรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิไว้ได้

อิเล็กตรอน on Your Quartz Heater Source

TEL (Tokyo Electron) หลอดไฟสำหรับใช้ในการทำความร้อน