http://quartz-heater-source.com/tr/tags/infra/ Recent content in Infra on Your Quartz Heater Source Hugo tr Tue, 30 Jun 2026 01:47:38 +0800 http://quartz-heater-source.com/tr/posts/clean-room-oven-infrared-heater/ Tue, 30 Jun 2026 01:47:38 +0800 http://quartz-heater-source.com/tr/posts/clean-room-oven-infrared-heater/ <p><img src="http://quartz-heater-source.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="Temiz oda fırını kızılötesi ısıtıcı"></p> <p>Litografi işlemlerinde, sadece yarım derecelik bir sıcaklık değişikliğinin bile fotoresist profilini değiştirebileceğini hızla öğrenirsiniz. Eğer sert pişirme işlemi kenarlarda aşırı sıcaklık oluşturursa, izlerde kirler meydana gelir. Class 1–100 temiz oda koşullarında, ısıtıcıdan çıkan tek bir parçacık bile tüm ürünü bozabilir. Bu yüzden temiz oda fırınlarını, ısının sadece wafer üzerinde kalmasını sağlayan kızılötesi ısıtıcılarla <a href="https://goldisgood.com">donatt</a>ık.</p> <p><strong>Teknik açıdan önemli olan şeyler:</strong> Doğrudan radyasyon yoluyla ısıtma için kısa dalga boylu kızılötesi kuvars ışık kaynakları kullanılır; bu sayede yanıt süresi saniyenin altındadır. Kapalı döngü kontrolü sayesinde wafer yüzeyindeki sıcaklık ±0,1°C aralığında sabit tutulur; böylece hem yumuşak hem de sert pişirme işlemleri her seferinde standartlara uygun olarak gerçekleşir. Isıtıcı gövdesi paslanmaz çelikten yapılmıştır ve düşük gaz salınımı sağlayan malzemeler kullanılmıştır. Böylece parçacık oluşumu sıfıra indirgenmiştir. Temiz oda standartlarına uygun yapı sayesinde cihaz, metreküp başına düşen parçacık sayısıyla ölçülen kirlilik durumlarına uyumludur.</p>