На етапі літографії процес висушування фотополімеру є обов’язковою умовою – це не просто рекомендація. Навіть незначна зміна температури у 0,5°C може вплинути на точність контролю критичних розмірів. Нерівномірність температури в „гарячих зонах“ також може суттєво вплинути на якість продукції. Потрібен нагрівач, який буде функціонувати на рівні оригінального обладнання, без необхідності використання конкретного постачальника.
Ми створюємо індивідуальні інфрачервоні нагрівачі для контролю температури на рівні пластини, призначені для м’якого чи жорсткого висушування фотополімеру. Система забезпечує однорідність температури на поверхні пластини в межах ±0,1°C. Параметри регулювання є достатньо точними, щоб забезпечити стабільність температури. Ми використовуємо напівінфрачервоні випромінювачі, адже вони передають енергію безпосередньо в пластину – це забезпечує швидку реакцію та мінімальну затримку між командою та результатом.
Обладнання сумісне з умовами чистих приміщень класу 1–100. Кожен інтерфейс розроблений таким чином, щоб уникнути утворення частинок. Щільність потужності, напруга та розміри обладнання призначені для відповідності вимогам вашої камери та konektorів. Таким чином обладнання може бути встановлене як окрема термічна система без необхідності додаткових коректив.
Ми перевіряємо ефективність обладнання відповідно до міжнародних стандартів для обладнання в галузі напівпровідників. Ми також надаємо дані про роботу обладнання – карти однорідності температури, час до досягнення потрібної температури, стабільність при роботі. Це дозволяє контролювати якість продукції та планувати періоди технічного обслуговування.
Встановлення обладнання є простим, але необхідно ставитися до термічного інтерфейсу як до критично важливої точки контролю. Необхідно переконатися у правильній орієнтації обладнання та компресії ущільнювачів, щоб забезпечити герметичність. Навіть незначні витоки можуть погіршити якість продукції. Необхідно також провести короткий тестовий запуск для налаштування параметрів обладнання відповідно до умов роботи.