Припиніть марнувати час на сушіння ваших пластин MEMS
Якщо ви все ще використовуєте гаряче повітря для сушіння пластин після етчингу чи очищення, то, по суті, ви просто марнуєте час.
Я бачу це у багатьох заводах. Гаряче повітря здається зручним засобом для сушіння, але насправді цей процес є повільним. Спочатку необхідно нагріти повітря, а потім вже повітря мусить нагріти саму пластину. Це додатковий крок, який подовжує час обробки.
Ось у чому суть інфрачервоних обігрівачів:
Інфрачервоні обігрівачі не використовують повітря – вони направляють електромагнітне випромінювання безпосередньо на поверхню пластини. Таким чином можна досягти потрібної температури за секунди, а не хвилини.
Коли йдеться про складну обробку напівпровідників, ці заощаджені хвилини швидко накопичуються. Пластини проходять через лінію обробки значно швидше, а ви можете швидше завершити всю роботу. Це значно спрощує процес.
Але це не так просто, як просто замінити лампу. Інфрачервоне випромінювання має велику потужність. Якщо контролери не налаштовані правильно, може виникнути перегрів пластин чи всієї системи. Тож потрібна точна система зворотного зв’язку.
Гаряче повітря є більш „поблажливим“ засобом для сушіння. Але інфрачервоне випромінювання такою поблажливістю не володіє.
Проте, якщо ви працюєте на великих потужностях, інфрачервоні обігрівачі є оптимальним варіантом. Вони менші за розміром, ніж великі конвекційні печі, тож можна обробити більше пластин, не займаючи багато простору.
Крім того, такий спосіб забезпечує однорідне нагрівання пластини. Не потрібно більше турбуватися про сліди води чи хімічні залишки, які виникають при неправильній роботі потоків повітря.
Якщо ви плануєте розширити свою продукцію, саме цей варіант є найкращим. Але пам’ятайте: ваша система охолодження повинна бути здатною впоратися з теплом, яке виробляють інфрачервоні обігрівачі. Ви ж не хочете, щоб решта обладнання також перегрівалося під час сушіння пластин.