TEL (Tokyo Electron) – bóng đèn sưởi ấm

Thu, 25 Jun 2026 01:38:19 +0800

Trong quy trình sản xuất, sự thay đổi nhiệt độ trong quá trình nung phim tỉ lệ hoặc sấy wafer không chỉ là một trở ngại mà còn khiến các kích thước quan trọng của wafer bị thay đổi, từ đó làm giảm hiệu suất sản xuất. Chúng tôi đã chế tạo bóng đèn TEL nhằm duy trì nhiệt độ ổn định trong suốt các chu kỳ xử lý.

Điều quan trọng ở bên trong
Bóng đèn này sử dụng nguồn sáng halogen tần số cao được đặt bên trong vỏ thủy tinh có độ tinh khiết cao. Ngoài ra, nó còn được trang bị hệ thống điều khiển vòng khép kín, giúp duy trì độ đồng đều của nhiệt độ ở mức ±0,1°C. Phản ứng của bóng đèn rất nhanh, vì vậy không xảy ra tình trạng nhiệt độ vượt quá mức cho phép trong quá trình nung.

ĐIỆN THOẠI on Your Quartz Heater Source

TEL (Tokyo Electron) – bóng đèn sưởi ấm