红外发射器的陶瓷端盖
防止智能工厂中的设备过热 如果在数字化工厂中使用高功率的红外发射器,你会发现,其实提供足够的功率并不是最难的部分。真正的难题在于如何控制热量。
那些极其高温的红外发射器如果被放置在敏感的电子设备或智能传感器旁边,那简直就是灾难的根源。因此,我们才会使用陶瓷端盖。它们可以起到隔离作用,让热量集中在需...
红外线灯用铝制反射器
停止能量浪费:为什么金质反射器如此重要 在半导体加工过程中,每浪费一瓦特的能量,就相当于白白损失了金钱。
大多数人仍然使用传统的铝制反射器。虽然它们也能起到一定的作用,但它们容易让过多的红外能量透过缝隙泄漏出去。这样一来,晶圆上就会出现“冷点”,同时电费也会变得不那么合理。
我们找到了更好的解决方...
洁净室烤箱红外加热器
在光刻过程中,人们很快就会明白:如果烘烤温度只相差半度,就可能会改变光阻层的厚度。而如果烘烤时边缘区域温度过高,那么在光阻层上就会出现瑕疵。在1-100级洁净室中,哪怕只有一个来自加热器的颗粒,都可能毁掉整批产品。因此,我们采用了红外加热器来控制温度,确保热量仅作用于晶圆上,不会扩散到整个腔体中。...