ফ্যাব ফ্লোরে, তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ খুবই গুরুত্বপূর্ণ। ফটোরেজিস্ট নরম করার প্রক্রিয়ায় ০.৫°C এর মতো তাপমাত্রা পরিবর্তন হলে, অথবা কিউরিং প্রক্রিয়ায় ওয়েফারের কোনো অংশে ঠান্ডা অঞ্চল থাকলে, এটা ক্রিটিক্যাল ডাইমেনশনগুলোকে বিঘ্নিত করতে পারে; ফলে ভালো ডাইগুলোও অকেজো হয়ে যায়। আমরা কার্বন ন্যানোটিউব ভিত্তিক হিটার ব্যবহার করেছি, যাতে প্রক্রিয়াটিতে কোনো তাপীয় সমস্যা না থাকে।
কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা কার্বন ন্যানোটিউব ভিত্তিক হিটিং এলিমেন্ট ব্যবহার করেছি; কারণ এটা দ্রুত প্রতিক্রিয়া দেয়, নির্দিষ্ট অঞ্চলেই তাপ সরবরাহ করে, এবং স্থিতিশীল তাপ নির্গমন করে। শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড (NIR) ব্যবহার করে শক্তি দক্ষভাবে সরবরাহ করা হয়। ফলে ওয়েফারের সক্রিয় অঞ্চলে তাপমাত্রা ±0.1°C এর মধ্যে থাকে; আর সেটপয়েন্টের পুনরাবৃত্তি ±0.2°C এর মধ্যে থাকে। র্যাম্প কন্ট্রোলের ফলে তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণে থাকে; আর দীর্ঘ সময় ধরে প্রক্রিয়াটি স্থিতিশীল থাকে। এই ডিজাইনে কোনো কণা উৎপন্ন হয় না; আর এটা ক্লিনরুম ক্লাস ১–১০০-এর মানদণ্ড পূরণ করে। ক্লোজড-লুপ সেন্সিংয়ের ফলে প্রক্রিয়াটি ধারাবাহিকভাবে চলতে থাকে; কোনো ব্যাঘাত নেই।
লিথোগ্রাফি ও অন্যান্য ক্ষেত্রে এর গুরুত্ব
লিথোগ্রাফিতে, সঠিক ফটোরেজিস্ট ভিসকোসিটি অর্জন এবং সলভেন্ট দূর করার জন্য নির্দিষ্ট তাপমাত্রা প্রয়োজন। হার্ড বেকিংয়ের ক্ষেত্রে, প্যাটার্নটি অক্ষত রাখার জন্য পুনরাবৃত্তিমূলক ক্রসলিঙ্কিং প্রয়োজন। আমাদের হিটারগুলো এই ধরনের নিয়ন্ত্রণ সম্ভব করে; ফলে CD কন্ট্রোল নিয়ন্ত্রণে থাকে, আর এজ-বিড ভেরিয়েবিলিটি কমে যায়। ওয়েফার আরও পরিষ্কার ও শুষ্ক হয়; পৃষ্ঠের ত্রুটিগুলো কমে যায়, আর পুনরায় কাজ করার প্রয়োজন কমে যায়।
কী পরিকল্পনা করা দরকার?
কার্বন ন্যানোটিউব হিটারের জন্য নির্দিষ্ট পাওয়ার ও কন্ট্রোল ইন্টারফেস প্রয়োজন; যা আপনার যন্ত্রপাতির মান ও নিরাপত্তা ব্যবস্থার সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ হবে। ফটোরেজিস্ট ও সাবস্ট্রেটের জন্য র্যাম্প প্রোফাইল টিউন করতে সময় লাগবে। সিস্টেমটি নির্ভরযোগ্য; কিন্তু আপনাকে আপনার নির্দিষ্ট যন্ত্রপাতির জন্য তাপীয় সংযোগ যাচাই করতে হবে—নইলে নির্দিষ্ট তাপমাত্রা বজায় রাখা সম্ভব হবে না। একবার সবকিছু ঠিক হয়ে গেলে, প্রক্রিয়াটি স্থিতিশীল থাকে। শিফট করা হয় শুধুমাত্র আপনি যখন চান।