In der Lithografie ist das Erhitzen des Fotoresists keine Empfehlung – es handelt sich dabei um eine notwendige Voraussetzung. Eine Abweichung von 0,5 °C kann bereits Auswirkungen auf die Kontrolle der kritischen Dimensionen haben. Zudem führt die Unregelmäßigkeit in den heißen Bereichen dazu, dass die Qualität der Produkte beeinträchtigt wird. Man benötigt daher Heizgeräte, die genauso funktionieren wie die Geräte des Herstellers – ohne dass man an einen bestimmten Lieferanten gebunden ist.
Wir entwickeln maßgeschneiderte Infrarotheizgeräte für die thermische Kontrolle von Wafern. Diese Geräte sorgen dafür, dass die Temperatur auf dem Waferoberflächen innerhalb von ±0,1 °C bleibt. Die Genauigkeit der Einstellungen ist ausreichend hoch, um Ihre thermischen Anforderungen zu erfüllen. Wir verwenden Nahinfrarotstrahler, da diese die Energie direkt in den Wafer übertragen – dadurch ist die Reaktionszeit kurz, und es gibt kaum Verzögerungen zwischen Befehl und Ergebnis.
Das Hardware-System ist für Reinräume der Klassen 1–100 geeignet. Jede Schnittstelle ist so konzipiert, dass keine Partikel entstehen. Leistungsdichte, Spannung und Abmessungen werden so gewählt, dass sie zu den Anforderungen Ihres Reinraums sowie der Anschlüsse passen. Dadurch kann das System ohne weitere Anpassungen als Teil des thermischen Systems eingesetzt werden.
Wir prüfen die Leistungsfähigkeit der Geräte anhand internationaler Standards für Halbleiterausrüstungen und liefern dabei Messdaten wie Karten zur Darstellung der Temperaturverteilung, Zeiten bis zur Erreichen der Zieltemperatur sowie Informationen zur Stabilität unter Belastung. So kann die Ersatzteilbeschaffung gezielt erfolgen – ohne Vermutungen. Der Vorteil: stabile Erhitzungsprozesse, weniger Ausschuss und planbare Wartungsintervalle.
Die Installation ist einfach – doch die thermische Schnittstelle sollte als kritischer Kontrollpunkt betrachtet werden. Stellen Sie sicher, dass die mechanische Ausrichtung sowie die Kompression der Dichtungen richtig sind, damit eine dichte Abdichtung gewährleistet bleibt. Selbst kleine Lecks können die Funktionalität der Geräte beeinträchtigen. Planen Sie außerdem eine kurze Einrichtungsphase, um die Einstellungen an die Bedürfnisse Ihres Prozesses anzupassen.