Warum wir Goldreflektoren für die IR-Behandlung verwenden
Die Halbleiterindustrie strebt vehement nach standards ohne Blei und ohne Emissionen. Das ist großartig – doch dadurch wirken die alten Methoden, bei denen große Konvektionsöfen verwendet werden, überholt. Man verbraucht viel Energie nur dafür, die Luft sowie die Wände eines Metallgehäuses zu erhitzen. Das ist ineffizient.
Deshalb haben wir auf IR-Lampen mit Goldreflektoren umgestellt. Anstatt die Luft zu erhitzen, konzentrieren wir uns nun auf die direkte Strahlung.
Der Vorteil von Gold
Bei einer herkömmlichen IR-Lampe wird Wärme in alle Richtungen abgegeben – in 360 Grad. In einer Trockenlinie bedeutet das, dass jede verlorene Wärme einfach Geldverschwendung ist.
Wir lösen dieses Problem, indem wir einen hochreinen, mit Gold beschichteten Reflektor verwenden, der die gesamte Energie nach vorne lenkt. Man fragt sich vielleicht, warum Gold und nicht Aluminium? Es ist einfach: Gold reflektiert Infrarotwellen besser. Dadurch wird die Wärme direkt auf das Wafer übertragen. So erhält man eine viel intensivere Wärmestrahlung genau dort, wo sie benötigt wird – ohne dass die Stromkosten steigen müssen.
Sauberkeit
Wenn man mit bleifreien Lötstoffen oder Klebstoffen arbeitet, weiß man, dass diese sehr anspruchsvoll sind. Wenn man die Schaltkreise überhitzt, entstehen Probleme.
Mit IR-Behandlung können wir gezielte Absorptionsspektren erreichen – ohne Raten und Vermutungen. Da die Wärme durch Photonen übertragen wird, entstehen keine Verbrennungsprodukte oder schädliche VOCs in der Reinraumumgebung. Es handelt sich dabei einfach um saubere, leise Elektrizität.
Die Nachteile
Es ist jedoch nicht alles perfekt. Es gibt Einschränkungen.
Diese Lösung ermöglicht es uns, die Geräte zu verkleinern und die Trocknungszeiten erheblich zu verkürzen. Doch man muss besonders genau auf die Abstände achten. Denn der Goldreflektor erzeugt einen sehr starken, konzentrierten Strahl. Schon ein paar Millimeter Fehler können dazu führen, dass an einer Stelle eine zu hohe Temperatur entsteht. Ein falscher Schritt kann dazu führen, dass das Substrat beschädigt wird. Man muss also genau darauf achten, alles richtig einzustellen.
Aber sobald das richtig eingestellt ist, ist dies die intelligenteste Methode zur Trocknung. Man kann auf chemische Lösungsmittel verzichten und somit die Energiekosten senken. Solange das Kühlsystem mit der Strahlungskraft umgehen kann, kann man die Geschwindigkeit erhöhen – ohne sich um thermische Verzerrungen sorgen zu müssen.