Warum wir auf die Konvektionsheizung bei der IR-Härtung verzichten Seien wir ehrlich: Konvektionsöfen sind etwas veraltet. Lange Zeit wurden sie zur...

Die Wafer warm halten: Warum wir auf Infrarotheizung für unsere Transportwagen umgestiegen sind Wenn man Wafer zwischen den Verarbeitungsstationen...

Wie man verhindert, dass die Halbleiterheizungen durch Kurzschlüsse ausfallen In der Welt der Halbleiter reicht bereits ein kleiner Funke oder ein...

Reduzierung des Kohlenstoffausstoßes in der Halbleiterfabrik durch goldbeschichtete Infrarot-Heizungen Es ist schwierig, das thermische Profil in...

Grüner Ansatz durch Infrarot-Härtung in der Halbleiterproduktion Seien wir ehrlich: Traditionelle Konvektionsöfen sind im Grunde genommen riesige,...

Im Produktionsbereich, direkt vor dem Verpacken, kommt der Wafer aus dem letzten Reinigungsprozess heraus – und die Zeit beginnt zu laufen. Jegliche...

In der Fertigungshalle ist die Temperaturschwankung während der Charakterisierung der Wafer sowie beim Trocknen des Photoresists keine abstrakte...

Auf dem Lithographie-Floor lernt man schnell, dass schon eine halbe Grad Abweichung beim Soft Bake als Linienbreitenvariation über den Wafer sichtbar...