Hören Sie auf, Zeit mit dem Trocknen Ihrer MEMS-Wafern zu verschwenden!
Wenn Sie nach dem Ätzen oder Reinigen immer noch hitzige Luft zum Trocknen der Wafer verwenden, verbringen Sie im Grunde genommen unnötig Zeit.
Ich sehe das in vielen Betrieben – Hitze ist zwar effektiv, aber langsam. Zuerst muss die Luft erhitzt werden, anschließend soll diese Luft wiederum die Wafer erhitzen. Das ist ein zusätzlicher Prozessschritt, der die Gesamtzeit verlängert.
Das Besondere bei Infrarotheizern:
Infrarotheizer kümmern sich nicht um die Luft. Sie strahlen elektromagnetische Strahlung direkt auf die Oberfläche der Wafer ab. Dadurch wird die gewünschte Temperatur in Sekunden erreicht – nicht in Minuten.
Bei der Herstellung von Halbleitern sind diese gesparten Minuten sehr wichtig. Die Wafer können schneller weiterverarbeitet werden – alles läuft viel reibungsloser ab.
Aber Achtung: Es ist nicht so einfach, einfach nur eine Glühbirne auszutauschen. Infrarotheizer sind äußerst intensiv – sie erzeugen eine hohe Hitzedichte. Wenn Ihre PID-Steuerungen nicht perfekt eingestellt sind, kann es zu Überhitzung kommen. Sie riskieren dadurch Schäden an den MEMS-Strukturen oder eine Überhitzung des gesamten Systems. Sie benötigen daher einen präzisen Feedbackkreis – sonst geraten Sie in Schwierigkeiten.
Hitze ist „entschuldigend“ – Infrarot hingegen nicht.
Trotzdem ist Infrarot die beste Lösung, wenn Sie eine hohe Produktionsmenge bewältigen müssen. Die Anlagen sind kleiner als die großen Konvektionsöfen – dadurch können mehr Wafer pro Zeitraum bearbeitet werden, ohne dass der gesamte Raum für die Heizung benötigt wird.
Außerdem sorgt Infrarot für eine gleichmäßige Wärmeverteilung auf den Wafern. Keine Sorgen mehr wegen unerwünschter Wasserflecken oder chemischer Rückstände, die entstehen, wenn die Luftströmungen nicht richtig funktionieren.
Wenn Sie Ihre Produktion ausweiten möchten, ist dies die ideale Lösung. Nur eines: Stellen Sie sicher, dass Ihr Kühlsystem mit der abgestrahlten Wärme umgehen kann. Sie wollen schließlich nicht, dass Ihre anderen Geräte überhitzen, während Sie die Wafer trocknen.