Im Produktionsbetrieb kann ein Partikel von unter 1 Nanometer Größe auf dem Trockenungstisch innerhalb von Sekunden dazu führen, dass eine 300-mm-Wafer zerstört wird. Die Heizgeräte der alten Generation sind instabil, und die thermische Unregelmäßigkeit zeigt sich als Variationen in der Linienbreite nach der Behandlung mit Fotolack. Es ist daher notwendig, eine Thermokontrolle zu verwenden, die mit dem Prozess Schritt hält – und nicht eine Kontrolle, die dem Prozess im Weg steht.
Was wirklich wichtig ist
Wir haben das industrielle Wafer-Trocknungssystem so konzipiert, dass es den Anforderungen der Lithografie gerecht wird. Der Kern des Systems besteht aus einem Quarz-Halogen-Heizelement, das für eine schnelle und reproduzierbare Reaktion ausgelegt ist. Dadurch wird eine Temperaturuniformität von ±0,1°C über den gesamten Prozessverlauf gewährleistet. Die Temperaturgenauigkeit bleibt hoch, sodass die Parameter für die Trocknungstests konstant bleiben.
Das System wird in Reinräumen der Klasse 1–100 eingesetzt. Die verwendeten Materialien und die Konstruktion des Systems sorgen dafür, dass während des Betriebs keine Partikel entstehen. So ist eine zuverlässige Funktionsweise rund um die Uhr möglich – ohne unplanmäßige Stillstände. Zudem bleibt die Leistung über 5.000 Stunden hinweg stabil.
Warum das in der Praxis funktioniert
Beim Reinigen und Trocknen der Wafer sorgt das Heizelement dafür, dass die Temperatur stabil bleibt. Dadurch entstehen Oberflächen ohne Rückstände und mit vorhersehbarer Oberflächenenergie. Bei der Behandlung mit Fotolack ermöglicht die präzise Temperaturregelung die Beibehaltung der kritischen Abmessungen und reduziert so die Notwendigkeit von Nacharbeiten. Das Ergebnis sind höhere Erträge, weniger Ausschuss sowie geringerer Energieverbrauch dank effizienter Heizung und präziser Thermokontrolle. Die Prozessbedingungen bleiben somit konstant.
Was Sie beachten sollten
Das Heizelement ist für bestimmte Geometrien der Aufnahmepunkte sowie für bestimmte Spannungsprofile konzipiert. Bei Umbauten ist eine genaue Abstimmung der Abmessungen und der elektrischen Eigenschaften erforderlich. Planen Sie außerdem einen kurzen Testbetrieb ein, um die PID-Einstellungen sowie die Leistung des Heizelements an Ihre Bedürfnisse anzupassen.
Die Nutzungsdauer des Heizelements hängt von der Sauberkeit der Umgebungsluft sowie von den Schaltzyklen ab. Halten Sie die Partikelkonzentration in der Luft niedrig und vermeiden Sie schnelle Ein-/Ausschaltvorgänge, um die Integrität der Lampen und des Quarzes zu bewahren.