In den Fertigungshallen stellt die thermische Drift während des Trocknens der Wafer nicht nur ein Problem dar – sie verändert außerdem die kritischen Abmessungen der Wafer und verringert somit die Erträge. Wir haben daher die TEL-Heizlampe entwickelt, um die Prozesstemperatur von Cycle zu Cycle konstant zu halten.
Was wirklich wichtig ist: Die Lampe verwendet einen Kurzwellenhalogenemitter in einem Hochreinheitsquarzkörper. Zusätzlich wird eine Regelungsschleife eingesetzt, um eine Temperaturstabilität von ±0,1 °C zu gewährleisten. Die Reaktionszeit ist schnell – dadurch entstehen keine Temperaturspitzen während des Weich- und Hartbrennvorgangs.
In Reinräumen der Klasse 1–100 ist die Vermeidung von Partikeln unerlässlich. Dieses Design sorgt dafür, dass die Anzahl der Partikel auch nach Tausenden von thermischen Zyklen konstant bleibt. Die Wiederholgenauigkeit bleibt über 5.000 Stunden hinweg konstant, wobei die Drift unter 5 % liegt.
Warum diese Lampe zum Prozess passt: Bei der Lithografie spielt die Temperaturkontrolle eine entscheidende Rolle. Die Lampe ermöglicht wiederholbare Brennvorgänge, was dazu beiträgt, die Kosten zu senken, die Kontrolle über die Abmessungen der Wafer zu verbessern und Ausschuss zu reduzieren.
Für das Reinigen und Trocknen der Wafer entfernt die Lampe die Oberflächenfeuchtigkeit, ohne dabei thermische Belastungen zu erzeugen. Dadurch kann der Prozess schneller ablaufen, und es werden weniger Verbrauchsmaterialien benötigt. Bei der Verpackung härten die Lampe die Beschichtungen schnell und gleichmäßig aus – dadurch wird die Zeit im Ofen reduziert und der Energieverbrauch gesenkt. Das Ergebnis: Weniger Nacharbeiten, bessere Qualität sowie planbare Abläufe.
Praktische Details: Die Lampe passt in Standard-TEL-Plattformen mit passenden Steckverbindungen und Befestigungsmöglichkeiten. Allerdings muss die Ausrichtung der Lampe sehr genau sein – die Distanz zwischen Lampe und Wafer muss bereits bei der Installation überprüft werden.
Es ist zu erwarten, dass die Lampe zunächst eine kurze Einlaufzeit benötigt, bevor sie ihre volle Leistung zeigt. Planen Sie daher eine kontrollierte Aufwärmphase vor der Inbetriebnahme. Halten Sie sich an die vorgegebenen Stromversorgungsprofile, um die Lebensdauer der Lampe zu schützen und die gewünschte Temperaturstabilität von ±0,1 °C aufrechtzuerhalten.