دیگر نیازی به گرم کردن هوا نیست؛ روش هوشمندانهتری برای بهرهبرداری از کارخانههای تولید نیمههادی
باید صادق باشیم: کارخانههای تولید نیمههادی، مصرفکنندههای زیادی از انرژی الکتریکی هستند. اگر تجربه کار با فرهای سنتی را داشتهاید، میدانید که چه اتفاقی میافتد؛ این فرها حرارت زیادی تولید میکنند و همه چیز را گرم میکنند – هوا، دیوارها، کف… تا ویفر به دمای مناسب برسد. این کار، هدررفت عظیمی از انرژی الکتریکی است.
در اینجاست که لامپهای پخت IR وارد عمل میشوند. در عوض اینکه سعی کنند کل اتاق را گرم کنند، آنها مستقیماً روی سطح ویفر تأثیر میگذارند. این روش، روشی خیلی بهتر برای دستیابی به اهداف کارخانههای سبز است، بدون اینکه عملکرد کارخانه تحت تأثیر قرار بگیرد.
منطق کار بسیار ساده است.
روش گرمایش معمولی، مانند گرم کردن یک خانه با باز نگه داشتن در ورودی و روشن کردن بخاری است. اما لامپهای IR متفاوت هستند؛ آنها از تشعشعات الکترومغناطیسی استفاده میکنند که در خط مستقیم حرکت میکنند. انرژی، تا زمانی که به ویفر یا فوتورزیست برخورد نکند، هیچ کاری انجام نمیدهد.
بنابراین، دیگر نیازی به هدررفت انرژی برای گرم کردن دیوارهای اتاق نیست؛ فقط سطح ویفر گرم میشود.
کارکرد لامپها در اتاقهای تمیز
در کارخانههای تولید نیمههادی، کافی نیست که کار انجام شود؛ بلکه باید دقت بالایی وجود داشته باشد. ما این لامپها را طوری طراحی کردهایم که بتوانند به سرعت گرم شوند و سرد شوند. این بدان معناست که لامپ تنها زمانی انرژی کاملی مصرف میکند که واقعاً در حال پختن ویفر باشد. به محض اینکه ویفر حرکت کند، میزان انرژی مصرفی کاهش مییابد. این روش، روشی کارآمد است.
و از آنجایی که آلودگی در اتاقهای تمیز مشکل بزرگی است، ما از غلافهای کوارتز با خلوص بالا استفاده میکنیم. هیچ گازی از غلافها خارج نمیشود، و هیچ ذرهی مشکوکی وجود ندارد. علاوه بر این، خروجی طیفی لامپ ثابت است؛ بنابراین عمق پخت در کل سطح ویفر، همیشه یکسان است.
نکاتی که باید در نظر گرفت
البته، این روش کاملاً جادویی نیست؛ لامپهای IR با تراکم بالا، حرارت زیادی تولید میکنند. در حالی که شما میتوانید انرژی زیادی را در فرآیند تولید صرفهجویی کنید، باید مطمئن شوید که سیستم خنککننده شما میتواند این حرارت را از کارخانه دور کند. اگر سیستم خنککننده شما نتواند حرارت را دور کند، فیلامنتهای لامپ خیلی زود خراب خواهند شد.
جایگزینی این لامپها کار سادهای است، اما لطفاً ولتاژ لامپ را با دقت بررسی کنید؛ نمیخواهید کنترلر لامپ خراب شود. همچنین، حتماً مراقب باشید که لامپ در محل مناسب قرار گیرد؛ اگر لامپ به اشتباه، قسمتهای دیگر ماشین را گرم کند، صرفهجویی در انرژی بیفایده خواهد بود.