در فرآیند چاپ، فوتورزیست به کوچکترین تغییرات حساس است. اگر دمای پختن فوتورزیست ۲ درجه سانتیگراد تغییر کند، این موضوع باعث اختلالاتی در ساختار قطعات چاپ شده خواهد شد. همچنین، اگر دمای پختن بیش از حد باشد، لایههای فوتورزیست تخریب خواهند شد. ما یک لامپ مادون قرمز را در اتاقهای تمیز قرار دادیم تا این نوسانات را در محل کار از بین ببرد.
چه چیزی اهمیت دارد؟ لامپ مادون قرمز، امواج کوتاه مادون قرمز را مستقیماً بر روی فوتورزیست تابانده و آن را گرم میکند؛ اما ماده حامل فوتورزیست تحت تأثیر این امواج قرار نمیگیرد. این لامپ، دمای مورد نظر را در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میکند؛ همچنین، تکرارپذیری عملکرد لامپ نیز در حدود ±۰.۰۵ درجه سانتیگراد است. این لامپ از نوع کوارتز-هالوژن است و در یک اتاق تمیز کلاس ۱–۱۰۰ قرار دارد؛ بنابراین هیچ ذرهای در اثر جریان هوای تمیز منتشر نمیشود. توان لامپ قابل تنظیم است و برای ویفرهای با قطر ۱۵۰ تا ۳۰۰ میلیمتر مناسب است. سرعت تغییر دما نیز کنترل شده است تا لایههای نازک بتوانند در شرایط پختن مختلف نیز سالم بمانند. این سیستم به طور مداوم در محیطهای تولیدی کار میکند و هیچ توقف غیرمنتظرهای ندارد؛ همچنین، با ۵۰۰۰ ساعت کار، نوسانات تولیدی کمتر از ۵٪ خواهد بود.
دلیل موفقیت این سیستم در عمل این است که دقت حرارتی آن با نیازهای فرآیند چاپ همخوانی دارد. لامپ، دمای مورد نیاز برای پختن فوتورزیست را کنترل میکند؛ بنابراین کنترل ابعاد مهم قطعات چاپی یکنواخت خواهد بود. یکنواختی بالاتر، باعث کاهش نقصهای لبهای، کاهش مقدار مواد بیفایده و کوتاه شدن زمان تولید میشود. مصرف توان لامپ نیز کم است؛ همچنین، پاسخ سریع و قابل تکرار لامپ، باعث تسریع فرآیند تعویض لامپ میشود، بدون اینکه کیفیت پختن تحت تأثیر قرار بگیرد.
چند نکته مهم در استفاده از این لامپ: لامپ نیاز به یک مدار برق جداگانه در اتاق تمیز دارد؛ همچنین، کابلهای مورد استفاده باید عاری از نویز الکترومغناطیسی باشند تا از تأثیرات منفی بر ابزارهای چاپ جلوگیری شود. هنگام تغییر اندازه ویفر، باید زمان کافی برای گرم شدن لامپ در نظر گرفته شود. لامپ دارای دمای بالا و توان خروجی زیادی است؛ بنابراین باید آن را در شرایط مناسب اتاق تمیز مورد استفاده قرار داد. ما یک کیت تعویض لامپ نیز در اختیار داریم تا تعمیرات بتواند به سرعت انجام شود.