در فرآیند لیتوگرافی، حرارتدهی به فوتورزیست یک اختیار نیست، بلکه یک شرط ضروری است. تغییر دما در محدوده ۰.۵ درجه سانتیگراد میتواند بر کنترل ابعاد کلیدی تأثیر منفی بگذارد؛ همچنین، عدم یکنواختی در مناطق دارای دمای بالا نیز میتواند باعث کاهش بازدهی تولید شود. شما به یک هیتر نیاز دارید که عملکردی مشابه هیترهای تولید شده توسط تولیدکنندگان اصلی داشته باشد، بدون اینکه مجبور باشید به یک تأمینکننده خاص وابسته باشید.
ما هیترهای مادون قرمز سفارشی برای کنترل حرارتی روی ویفرها طراحی میکنیم؛ این هیترها برای حرارتدهی ملایم و شدید فوتورزیست مناسب هستند. این سیستم، یکنواختی دمای سطح ویفر را در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میکند؛ همچنین، قابلیت تکرار پارامترهای حرارتی نیز به اندازهای خوب است که بتواند از بودجه حرارتی شما محافظت کند. ما از فرستندههای مادون قرمز نزدیک استفاده میکنیم؛ زیرا آنها انرژی را مستقیماً به ویفر منتقل میکنند. پاسخ این فرستندهها سریع است و تأخیر بین دستورات و نتایج بسیار کم است.
سختافزارهای ما سازگار با محیطهای تمیز کلاس ۱ تا ۱۰۰ هستند؛ همچنین، تمام رابطهای ارتباطی طوری طراحی شدهاند که ایجاد ذرات در محیط صفر باشد. چگالی انرژی، ولتاژ و ابعاد سختافزارها نیز مطابق با الزامات محفظه و کانکتورها تنظیم شدهاند؛ بنابراین این سختافزارها میتوانند به عنوان یک زیرسیستم حرارتی استفاده شوند، بدون نیاز به تغییرات اضافی.
ما عملکرد این سختافزارها را مطابق با استانداردهای بینالمللی مربوط به تجهیزات نیمههادی بررسی میکنیم؛ همچنین، دادههای اندازهگیری مانند نقشههای یکنواختی، زمان لازم برای رسیدن به دمای مورد نظر، و پایداری در شرایط بار را نیز ارائه میدهیم؛ تا جایگزینی سختافزارها به صورت قابل ردیابی باشد، و نیازی به حدس و گمان نباشد. نتیجه این کار، پروفایلهای حرارتی پایدار، کاهش میزان مواد باکیفیت پایین، و فواصل نگهداری قابل پیشبینی است.
نصب این سختافزارها ساده است؛ اما باید ارتباط حرارتی را به عنوان یک نقطه کنترل کلیدی در نظر گرفت. باید هماهنگی مکانیکی و فشار درزبندها را بررسی کرد تا آببندی مناسب حفظ شود؛ حتی نشتهای کوچک نیز میتوانند بر عملکرد سختافزارها تأثیر منفی بگذارند. همچنین، باید یک آزمایش کوتاه برای تنظیم پارامترهای PID انجام داد.