در کارخانه تولید، منحنی دمای آن صفحه گرمکن، نه تنها باعث گرم شدن ویفر میشود، بلکه محدوده فرآیند تولید را نیز تعیین میکند. تغییرات جزئی در دما در حین فرآیندهای گرمایشی، میتواند منجر به تغییر ابعاد مهم ویفر، تغییر زوایای دیوارههای آن، و در نتیجه کاهش کیفیت محصول شود. گرمکنهای مورد استفاده در کارخانه ما، بر اساس اصل یکنواختی حرارتی در سطح ویفر طراحی شدهاند؛ به طوری که دما در سراسر سطح ویفر در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد باقی بماند. این امر باعث میشود پروفایل فوتورزیست در طول فرآیندهای لیتوگرافی و اتچینگ، پایدار بماند.
چه چیزهایی اهمیت دارد؟
ما از فرستندههای موج کوتاه قرص کوارتز-هالوژن، همراه با بلوک گرمکنی با جرم حرارتی پایین، استفاده میکنیم؛ این امر باعث میشود فرآیند گرمایش سریع و قابل تکرار باشد. سیستم کنترل، دادههای حاصل از سنسورهای تنظیمشده را در نظر میگیرد؛ بنابراین مقدار دمای مورد نظر، دقیقاً مطابق با وضعیت واقعی ویفر خواهد بود. این سیستم، استانداردهای اتاقهای پاکسازی درجه ۱ تا ۱۰۰ را رعایت میکند؛ همچنین هیچ ذرهای تولید نمیکند (که این موضوع به طور مستقیم بررسی شده است). علاوه بر این، این سیستم میتواند ۲۴ ساعته بدون هیچ توقفی کار کند. تکرارپذیری خروجی، در طول بیش از ۵,۰۰۰ ساعت کار، در حد ۰.۲٪ باقی میماند؛ بنابراین بودجه حرارتی در هر روند تولید، یکنواخت خواهد بود.
چرا این سیستم در فرآیندهای تولید مؤثر است؟
در ایستگاههای گرمایش، نیاز به داشتن پروفایل یکنواخت وجود دارد؛ یعنی گرمایش ملایم برای خارج کردن حلالها، و گرمایش شدید برای سفت شدن ماسک. اگر دما بیش از حد باشد، ممکن است روی سطح ویفر لایههایی تشکیل شود؛ اگر دما کم باشد، باقیماندههایی روی ویفر خواهد ماند. این گرمکن، پروفایل گرمایشی را در مسیر درست نگه میدارد؛ در نتیجه، میزان مواد بیفایده کاهش مییابد و زمان فرآیند نیز کوتاهتر میشود. میزان مصرف انرژی نیز متناسب با بار حرارتی است؛ بنابراین هزینههای عملیاتی کاهش مییابد، بدون اینکه سرعت فرآیند کاهش یابد.
نکات عملی:
این دستگاه نیاز به منبع تغذیه جداگانه و ایزوله دارد؛ همچنین نیاز به منبع تغذیه تمیز و خشک نیز وجود دارد؛ در غیر این صورت، یکنواختی حرارتی کاهش خواهد یافت. تعویض کانکتورها در حین کار، میتواند باعث تغییرات جزئی در دما شود. بنابراین، باید نحوه نصب دستگاه را با توجه به فضای مورد نیاز برنامهریزی کرد؛ همچنین باید قبل از شروع فرآیند تولید، پروفایل گرمایشی را بررسی کرد. ما نقشههای تنظیم و الگوهای مربوط به فرآیندهای گرمایشی را فراهم میکنیم؛ اما در نهایت، موفقیت این سیستم به تطبیق دستگاه با شرایط محیطی کارخانه بستگی دارد.