در فرآیند لیتوگرافی، همانطور که میدانید، حتی کوچکترین تغییر در دما میتواند باعث اختلال در فرآیند شود. اگر به این مسئله، تولید ذرات نیز اضافه شود، محصولات با کیفیت بالا نیز ممکن است به ضایعات تبدیل شوند. بنابراین، نیاز به منبع حرارتی وجود دارد که مانند یک پارامتر واقعی عمل کند، نه یک متغیر دیگر که باید آن را کنترل کرد.
چه چیزهایی از نظر فنی اهمیت دارد؟ ما از لامپهای IR با امیترهای کوارتزی برای فرآیند گرم کردن فوتورزیست استفاده میکنیم. این لامپها حرارت را به سرعت و در جهت مشخصی ایجاد میکنند؛ در نتیجه، یکنواختی دما در سطح ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میشود. همچنین، پروفایل حرارتی در هر بار استفاده از لامپ یکسان باقی میماند؛ بنابراین، کنترل دما دیگر مشکلساز نخواهد بود.
این سیستم برای استفاده در اتاقهای پاکسازی کلاس ۱ تا ۱۰۰ طراحی شده است؛ موادی با میزان گاز خروجی کم، عدم تولید ذرات، و مسیر نوری بسته که از ورود آلایندهها به فرآیند جلوگیری میکند. کنترل دما نیز در این سیستم یکپارچه است و کنترل حلقه بسته، ثبات دما را تضمین میکند. این سیستم امکان کار ۲۴/۷ را بدون توقفات غیرمنتظره فراهم میکند.
چرا این روش در اینجا مؤثر است؟ در فرآیند تولید، فرآیند گرم کردن فوتورزیست، حذف حلالها و کاهش تنشهای ناشی از فیلم را قبل از عملیات عکاسی انجام میدهد. با استفاده از این لامپ، رفتار فوتورزیست یکنواخت باقی میماند، کارهای تکراری کاهش مییابد، و کنترل دقیقتری بر روی ویفر امکانپذیر میشود.
پاسخ حرارتی این لامپ به اندازه کافی سریع است تا زمان گرم کردن کاهش یابد، بدون اینکه دما از حد مشخص شده فراتر رود؛ در نتیجه، بازدهی فرآیند بهبود مییابد، در حالی که میزان انرژی مصرفی نیز در محدوده مشخص شده باقی میماند. همچنین، طول عمر لامپ نیز زیادتر میشود و تعمیرات کمتری لازم است؛ در نتیجه، بازدهی خط تولید نیز پایدار باقی میماند.
نکاتی که باید در نظر گرفت: نصب لامپ باید به دقت انجام شود؛ همچنین، ولتاژ ورودی نیز باید یکنواخت باشد. تغییرات ناگهانی ولتاژ میتواند کنترل سیستم را مختل کرده و باعث اختلال در یکنواختی دما شود.
خروجی لامپ نیز به فاصله بین امیتر و سطح ویفر حساس است؛ بنابراین، محدودیتهای مکانیکی باید مطابق با استانداردهای مشخص شده باشد. همچنین، باید دورهای سنسور دما را کالیبره کرد و یکنواختی دما را بررسی کرد تا عملکرد سیستم در طول زمان در محدوده مشخص شده باقی بماند.