روش بهتری برای استفاده از تابش مادون قرمز در فرآیندهای خشککردن
وقتی که در حال خشککردن ویفرها یا پروسههای لازم برای تثبیت مواد فوتورزیست هستید، نمیخواهید وقت خود را صرف گرم کردن یک جعبه فلزی بزرگ کنید. به همین دلیل از لامپهای گرمایشی با خلوص بسیار بالا استفاده میکنیم.
میتوانید آن را مانند تفاوت بین انتظار برای گرم شدن کامل فر و استفاده از توستر در نظر بگیرید. این لامپها به جای گرم کردن هوا، تابش مادون قرمز را مستقیماً به سمت ماده نیمههادی ارسال میکنند.
این روش مستقیم و سریع است.
برای این منظور، از رشتههای تنگستن با چگالی بالا و پوشیده شده با کوارتز با خلوص بسیار بالا استفاده میکنیم. امواج مادون قرمز به ماده نیمههادی برخورد کرده و بلافاصله به گرما تبدیل میشوند. در این روش، انرژی صرف گرم کردن دیوارههای دستگاه نمیشود؛ گرما دقیقاً به جایی میرود که لازم است. این روش، روشی هوشمندانه برای صرفهجویی در انرژی است.
از طرف دیگر، اگر از روشهای لحیمکاری بدون سرب یا روشهای خنثی برای خشککردن استفاده میکنید، محدوده دمایی بسیار کوتاهی وجود دارد. اگر دما خیلی بالا باشد، ماده نیمههادی خراب میشود؛ اگر دما خیلی پایین باشد، اتصالات موجود قوی نخواهند بود.
مزیت لامپهای UHP این است که در عرض چند میلیثانیه واکنش نشان میدهند؛ میتوانید گرمای تولید شده توسط لامپ را به سرعت روشن یا خاموش کنید. به دلیل کنترل دقیق دما، دیگر نیازی به استفاده از حلالهای شیمیایی یا مواد تسریعکننده خطرناک نیست. فقط گرمای تمیز و مؤثر وجود دارد.
البته، یک مشکل هم وجود دارد: این لامپها مقدار زیادی گرما را در فضای کوچکی تولید میکنند؛ این امر فشار زیادی بر سیستم تأمین انرژی وارد میکند. اگر فنها یا سیستمهای خنککننده کافی نباشند، اجزای الکترونیکی اطراف لامپ خراب خواهند شد. بنابراین باید نقطه تعادلی بین خروجی لامپ و سرعت خنکشدن سیستم پیدا کنید؛ در غیر این صورت، مجبور خواهید بود قطعات خراب شده را مدام تعویض کنید.
از آنجایی که این لامپها در اتاقهای تمیز قرار دارند، از کوارتز برای جلوگیری از خارج شدن گازها استفاده میکنیم؛ به این ترتیب، هیچ چیزی از لامپ خارج نمیشود و روی ویفرها قرار نمیگیرد. روش ساده، تمیز و مؤثری است.